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长春国科说110nmKrF光刻机的光学装置已成功交付上海微电子,这个光刻机哪个地方使用? 第1页

  

user avatar   zhui-meng-de-feng-zheng-28 网友的相关建议: 
      

KrF对应的是248nm波长光源的光刻机,有点奇怪……目前SMEE最先进的量产前道光刻机是SSX600,属于用436nm波长光源的i-line光刻机,也就是那台最高精度是90nm的国产光刻机。

如果按部就班的迭代发展,i-line光刻机的下一步确实是KrF光刻机……但是我们的02专项目标是跳级造ArFi光刻机啊(也就是193nm光源的DUV)

或许长春国科交付的是用于后道封装光刻机的?

毕竟光刻机种类也有很多,光刻机系统集成也很复杂,而测试和量产又是两码事。所以还是等官方的消息吧。




  

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