为什么芯片刻蚀不用电子或质子，这样不就不受光源波长限制了吗？ 第1页
1
zhang-bei-hai-52-39 网友的相关建议:
目前电子束光刻原理与扫描电子显微镜相同（所以基本上扫描电镜都可以当作电子束光刻机来用），使用的是聚焦到纳米尺度的电子束在光刻胶上逐点扫描出需要的图案从而实现电子束曝光。虽然理论上确实可以达到纳米级别的加工线宽，但逐点扫描的效率实在太低，只适合实验室加工简单图形，完全无法用于工业加工复杂的集成电路（一块CPU少说曝光几百次，用电子束扫描到天荒地老么）。而光学光刻机使用的则是较大尺寸的平行光，一次曝光直接形成某一工艺流程中所需要的全部图案，所需时间完全没有可比性。
所以为什么不能也把电子束做成光刻机中类似可见光或者紫外光那样的大尺寸平行光斑呢？因为目前电子光路中使用的电磁透镜实在太不完美了，仅仅能对近轴电子起作用，角度稍微大一点各种像差就大到无法接受，相比非常成熟的光学透镜来说还差了十万八千里，所以至少近些年还是老老实实地用波长更短的光吧。
1
相关话题
如果雪是黑色的，会对地球造成什么影响？为什么不使用光代替无线电波进行通信？
如何看待光线能以螺旋方式传播？将有哪些应用？
为什么在阳光下能看到灰尘？
电子预知开关是关闭的，所以没有电流吗？
普通相机能改装成高光谱的么？
冰和水都是透明的，那为什么雪看上去就是白色的？
哪个设备使用DB9连接器最频繁？
裂像式对焦是什么原理？
为什么光在不同介质中速度不同？这违背光速不变原理吗？
前一个讨论
请问放养猫需要注意什么？
相关的话题
照相机镜头为什么看起来是紫色的?裂像式对焦是什么原理？
如果人的能量是可见的 那负能量会是什么颜色？
博物馆讲解员会被电子取代吗？
如何让光学显微镜的分辨率超过电子显微镜？
光学与原子分子物理那个就业前景好一点？具体能做什么工作？
电子，通信，互联网哪个行业更具发展前景？
金属反光和其他平面的反光有什么本质区别？为什么偏振镜不能消除金属表面的反光？
请问这样彩色的海洋是真实拍摄到的吗，还是只是特效制作的？
马上要读研了，电子信息光学方向，请问光通信，激光雷达，光学设计这三个方向如何，各自的前景如何？
光是如何知道哪条路线最快的，费马原理是不是违背常理呢？
现在很多手机和电脑已经性能过剩，这会不会在将来某一天造成这一类电子行业的泡沫崩盘？
光学和流体力学如何交叉?
现在很多手机和电脑已经性能过剩，这会不会在将来某一天造成这一类电子行业的泡沫崩盘？
有没有一种偏振片对不合要求的光线是反射的而不是吸收？
为什么光能发生衍射和干涉，波也能，所以光就是一种波？
拉曼晶体BN，KGW，KYW晶体适合做科研吗？
红黄蓝颜料按相同比例混合就能得到黑色？
黑色物体可以吸收所有颜色的光吗?
请问可以用特殊材料来增强植物的光合作用嘛？
自适应光学研究方向怎么样？前景？
人眼感觉到的光波长范围为400-750nm，多模光模块发出的光为850nm为什么人眼能看到？
在凸透镜成像实验中将光屏取下后用人眼在光屏位置看能否看到清晰像（光屏上成清晰像）？
杨氏双缝实验中双缝之一的缝宽增加一倍，另一宽度不变，屏幕上的光强分布会是怎么样？
对『人在岸上看见的鱼比实际位置高』的疑问？
为什么说光的多普勒效应不改变光的颜色？
人眼是如何感受电磁波的？对人眼对人眼起主要作用的是电场强度，还是磁感应强度？
物体的高光为什么都是白色的？
纳秒光学，皮秒光学，飞秒光学，阿秒光学在科学和工程中各有什么应用？
马上要读研了，电子信息光学方向，请问光通信，激光雷达，光学设计这三个方向如何，各自的前景如何？