既然ASML能造出光刻机，那么处于光学顶尖的卡尔蔡司也有这个实力吗？ 第1页
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andre-31-44 网友的相关建议:
蔡司当然能造光刻机，而且也造过光刻机。
东德蔡司80年代末制造的ZBA-21电子束光刻机，最小加工特征尺寸200-400纳米，可以用于掩膜制造和电子束直写加工。
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