如何看待上海微电子交付首台光刻机？ 第1页
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meng-lian-zi-ran-qiang 网友的相关建议:
封装用光刻机，精度几百nm，重点不是光刻机，而是3D封装已经形成完成产业生态，还有关于SMEE的事少提。
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