光刻机里的双工件台为什么都是在运动的？ 第1页
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双工件台，即在一台光刻机内有两个承载晶圆的工件台。两个工件台相互独立，但同时运行，一个工件台上的晶圆做曝光时，另一个工件台对晶圆做测量等曝光前的准备工作。当曝光完成之后，两个工件台交换位置和职能，如此循环往复实现光刻机的高产能。
在2000年前，光刻设备只有一个工件台，晶圆片的alignment 和exposure流程都在上面完成。直到2001年，ASML推出了Twinscan双工件台系统，使得光刻机能在一个工件台进行曝光晶圆片，同时在另外一个工作台进行预对准工作，并在第一时间得到结果反馈，生产效率提高大约35%，精度提高10%以上。而随近年来技术的持续改进，双工件台的效率得到了持续的提升。
具体可以参考如下网址：
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