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光刻机里的双工件台为什么都是在运动的? 第1页

  

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双工件台,即在一台光刻机内有两个承载晶圆的工件台。两个工件台相互独立,但同时运行,一个工件台上的晶圆做曝光时,另一个工件台对晶圆做测量等曝光前的准备工作。当曝光完成之后,两个工件台交换位置和职能,如此循环往复实现光刻机的高产能。

在2000年前,光刻设备只有一个工件台,晶圆片的alignment 和exposure流程都在上面完成。直到2001年,ASML推出了Twinscan双工件台系统,使得光刻机能在一个工件台进行曝光晶圆片,同时在另外一个工作台进行预对准工作,并在第一时间得到结果反馈,生产效率提高大约35%,精度提高10%以上。而随近年来技术的持续改进,双工件台的效率得到了持续的提升。

具体可以参考如下网址:

【光刻】双工件台 TWINSCAN - 芯制造 (chipmanufacturing.org)

打破ASML光刻机双工件台技术垄断!华卓精科拟登陆科创板 - 知乎 (zhihu.com)




  

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