等离子刻蚀机中的“source power”以及“bias power”与刻蚀的关系是？ 第1页
1
wo-le-ge-lai-de 网友的相关建议:
Source Power,源功率,加在上电极
Bias Power,偏置功率,加下电极,即硅片侧
通过控制Bias Power,即偏置功率,可以增强等离子体的方向性,改变刻蚀过程中的深度,侧墙角度负载效应;
此外还与腔体的压力有交互作用;
刻蚀是一个复杂的过程,除了源功率&偏置功率,使用的气体比例,腔室的压力,刻蚀对象的表面形貌都会同时对结果造成影响
1
相关话题
如何看待集成电路专业正式成为一级学科，对半导体芯片行业的从业人员和毕业学生有什么影响？如何看待大陆唯一一台 7nm 光刻机被抵押，武汉弘芯千亿级芯片项目停摆，新员工延迟入职？
如何看车企都是8155的时代了，比亚迪为何还停留在6系芯片？
如何看待大陆9纳米光刻机样机问世?
传 iPhone 15 将首次全部搭载苹果自研芯片，对此你有哪些期待？
半导体设备vendor的售后工程师怎么样？
中国光刻机明年可以达到世界较为先进的水平，开始迈入芯片强国吗？
为什么日本没有出现像台积电，因特尔，三星这样的半导体巨头？
为什么国产手机厂商，除了华为都没有自己的处理器芯片，有哪些原因？
如何看待 IEEE 最新声明解除华为对编辑和同行评审活动的限制？
前一个讨论
为什么CPU的制程不能跨代发展？
下一个讨论
如何评价恒玄科技BES2300蓝牙芯片？
相关的话题
顶级处理器晶体管数量多少？钙钛矿在中国光伏产业中是否真的有颠覆性的前景？
如何看待南京集成电路大学揭牌成立，对中国芯片研发和人才培养有哪些意义？
“零功耗”节能控制芯片？
如何看待全球芯片巨头英特尔因财报不及预期，市值暴跌1775亿？对行业有何影响，英特尔统治地位衰落了吗？
Perl等脚本语言在IC设计中有哪些用处？数字IC前端设计有必要掌握类似语言么？如果有，应该掌握到什么程度？
赛微电子公告「拟 51 亿元投建 12 吋 MEMS 制造线项目」，释放了什么信号？
如果你在我国研制出了5nm的光刻机会怎么样？
如何评价蔚来将开启自研芯片，车机芯片研发难度如何？
首届 RISC-V 中国峰会 2021 年 6 月 21 日起在上海举行，有什么值得关注的地方？
如何看待全球芯片荒之际，英特尔投资 200亿美元资建立两个新工厂，将产生哪些影响？
如何评价苹果A11处理器？
如何看待 OPPO 给应届生开出 40w+ 的待遇，实际情况是怎样的？
如何看待台积电 5 天内三次涨价，从晶圆到代工费都全面涨价？
如何看待 IBM 已开发出全球首个 2 nm芯片？这对芯片行业来说有什么重要的意义？
对于美国4月16日宣布的禁止美国企业向中兴通讯出售任何电子技术或通讯元件的禁令，我们究竟有没有底牌？
台湾芯片代工业为什么比大陆领先很多？
offer比较:英特尔PE和北京中芯国际PIE技培生怎么选呢，985博女?
为什么知乎上有关芯片、半导体、嵌入式系统的话题少得可怜？
小到芯片大到高铁，工业文明进程中中国为何没有拿的出手的作品，是中国人不够聪明吗？
我国芯片行业要多久才可以赶上美国？
中国的微电子技术为什么差？
如何看待台积电 5 天内三次涨价，从晶圆到代工费都全面涨价？
模拟版图设计的两种匹配哪种比较好？为什么另一种不太好？
我国的光刻机开发得怎么样了？
为什么麒麟9000看起来不输骁龙8 Gen1？
顶级处理器晶体管数量多少？
芯片困境中国该怎么办?
在 AMD 工作是怎样的体验？
为什么说芯片产能 10 年内增加 1 倍方能解决芯片荒难题？