半导体工艺中为何用去离子水？ 第1页
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说人话，金属离子是半导体良率第一大杀手，因为任何金属离子落入wafer表面，都会导致电阻率发生巨大变化，导致芯片报废。所以半导体工艺中，需要这种超纯的去离子水，来保证在工艺处理过程中，没有任何离子杂质对wafer造成影响。
有人说了一般都是18兆欧的水。
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