如何看待 4 月 22 日清华大学成立集成电路学院，对中国芯片研发和人才培养有哪些意义？ 第1页

这个当然是十分重要的。

我当年上学的时候，系里面买了一台30万元的万能实验机。带实验的老师先给我们做使用的示范，然后让我们分组，自己操作这台机器。

这位老师非常得意地说：你去全校打听打听，哪个专业会把30万元的设备交给学生自己做实验！

随着我国经济的发展，30万元的设备现在已经不算什么，我们课题组万能实验机就有几台；现在我们100万元的设备，也放心交给学生做实验。

然而，光刻机呢？那可是动不动几千万、上亿的设备。

可想而知，学校交给学生亲自操作做实验的机会是极其微乎其微的。

其实在芯片制造领域，我们不但缺设备、缺EDA软件，还缺合格的一线工人。

大家都知道，像ASML这样的公司，最低学历博士起。

像台积电这样的企业，也普遍都是硕士起，博士遍地走。

事实上，在这些著名芯片产业公司里的博士、硕士，不是毕业后才接触光刻机的，而是在上学期间就接触了光刻机。

然而，目前我们国家绝大多数的大学里，不论是硕士和博士，都没有机会接触光刻机！

据我了解，即使一些大学（比如清华大学）、中科院这样的单位，光刻机是有的。但是一般不会让硕士生或博士生直接操作。

一般都是有一两个专职的实验员，管理着超净间（尘埃极少极少的实验室）里的光刻机、E-BEAM等设备。

当课题里需要做光刻实验的时候，学生画好图，找公司做好掩膜，然后交给实验员，由实验员代为完成光刻这一步。

因为光刻机太贵了，学生操作容易出错，一次出错清理、维修就要花很多钱。

所以，即使一些学生做了光刻实验，实际上也往往不是自己亲自完成的，缺乏一手操纵光刻机的经验。

为什么一手操纵经验重要呢？

个人有幸在国外玩过几百纳米级的光刻机，其实已经很精密了。我用光刻机做超疏油表面。

做这个实验的时候，我用两步曝光，一步是充分曝光，第二步是不充分曝光。不充分曝光造成部分柱子的上面会有光刻胶残留。光刻胶是疏水的，残留的光刻胶和下面充分曝光的部分就行成了一朵朵蘑菇状的柱子阵列。这就增大了柱子上部的比表面积，超疏水的柱阵列就变成了超疏油的阵列。

我做这个，花了整整一年时间，从摸索到最终取得效果。中间失败了无数次。

如果像在国内这样，我很可能会把这个工作交给实验员去做，然而实验员绝对不会有这种耐性。做一两次还不成功就不会再往下尝试了。

通过这个实验，我就初步深刻了解了，同样一台光刻机，有的人就能玩成花，有的人就只能做些简单的构型。

如果我去应聘芯片公司，一进入岗位就会很容易上手，而且很可能在操纵的过程中发现很多问题、并提出改善的建议，或者对于很复杂的结构，能够提出初步的步骤方案。

而一个新手，起码要经过大半年培训才能有我这种经验。

然而，在一个公司里面，谁愿意出钱让你慢慢练？

所以，这也是我们在芯片制造方面相对落后的一个原因之一。

仅供参考。

另外：清华成立这么一个学院的好处是：不差钱。

只要挂着清华的牌子，各种企业都愿意给清华集成电路学院出钱，即给他们横向项目，从而可以在自己的经营中把清华作为合作单位来宣传。

有钱就好办事。